百實科技半導體工廠弱電智能化，核心是潔凈車間+廠務+安防+工業(yè)網(wǎng)絡一體化智能化系統(tǒng)，和普通廠房弱電最大區(qū)別：防靜電 ESD、防電磁干擾EMI、潔凈防塵、多網(wǎng)物理隔離、7×24高冗余、廠務實時聯(lián)動，直接影響良率與知識產(chǎn)權(quán)安全。

一、核心子系統(tǒng)清單

1、綜合布線系統(tǒng)

　　主干：萬兆/40G單模光纖，核心機房到FAB雙路由冗余;遠期預留100G擴容

　　水平：六類/超六類，光刻/刻蝕等高干擾區(qū)域用屏蔽線纜

　　潔凈室專用：無塵線槽、無粉塵面板、低揮發(fā)配件，橋架密封;ESD接地一體化

　　無線：Wi?Fi6/6E，僅AGV、PDA區(qū)域部署;光刻區(qū)嚴控無線，防止干擾精密設備

2、計算機網(wǎng)絡系統(tǒng)

　　四網(wǎng)物理/邏輯隔離，嚴禁互通：

　　①生產(chǎn)網(wǎng)(Fab 網(wǎng))：光刻機、刻蝕機、MES，工業(yè)交換機、環(huán)網(wǎng)冗余，最高安全等級，和外網(wǎng)物理隔離

　　②廠務網(wǎng)(FMCS)：空調(diào)、FFU、純水、特氣、冷機監(jiān)控

　　③安防網(wǎng)：監(jiān)控、門禁、周界，獨立交換機與存儲

　　④辦公網(wǎng)：ERP、互聯(lián)網(wǎng)，單獨出口防火墻

　　跨網(wǎng)數(shù)據(jù)采用單向網(wǎng)閘，禁止雙向穿透，防止病毒入侵產(chǎn)線

3、FMCS廠務監(jiān)控系統(tǒng)

　　PLC/DCS平臺，采集全廠動力與潔凈環(huán)境：

　　潔凈室參數(shù)：溫濕度、壓差、顆粒度、VOC、FFU 風機狀態(tài)

　　動力：PCW工藝冷卻水、CDA壓縮空氣、真空、超純水、酸堿廢液、特氣柜

　　聯(lián)動：顆粒物超標自動提 FFU 轉(zhuǎn)速;壓差異常報警;設備故障預警;能耗統(tǒng)計，降低 PUE

　　可對接數(shù)字孿生平臺，全廠可視化運維

4、安防智能化系統(tǒng)

　　①視頻監(jiān)控：4K網(wǎng)絡攝像機，F(xiàn)AB、晶圓倉庫、特氣間、機房全覆蓋;智能分析(越界、物品遺留、人員違規(guī));存儲≥90天，獨立安防網(wǎng)

　　②門禁+ESD閘機：FAB入口、機房、化學品庫、晶圓庫，多因子認證(人臉+刷卡)，防尾隨;集成ESD靜電檢測，靜電不合格禁止進入車間;人員進出全日志審計

　　③周界：振動光纖/張力電子圍欄;電子巡更、訪客管理、停車管理

　　④智慧消防：潔凈室專用煙感/火焰探測器，與FMCS、門禁聯(lián)動，火災自動切斷相關(guān)氣路、關(guān)閉風閥

5、能源管理系統(tǒng)EMS

　　智能電表、水表、氣表、流量計采集，分車間、分產(chǎn)線計量;AI 優(yōu)化冷機、MAU 運行，實現(xiàn)節(jié)能與能耗審計，半導體廠能耗占比極高。

6、其他配套弱電

　　機房工程：核心/匯聚機房，UPS、精密空調(diào)、環(huán)境監(jiān)控、動環(huán)系統(tǒng)

　　公共廣播、IP電話、信息發(fā)布、會議系統(tǒng)(辦公區(qū))

　　樓宇照明智能控制：潔凈室無塵燈具、調(diào)光、聯(lián)動人體感應

　　系統(tǒng)集成平臺：統(tǒng)一大屏，把FMCS、安防、能耗、動環(huán)匯總到一個平臺做聯(lián)動報警

二、半導體弱電特殊技術(shù)要求

　　1、ESD防靜電：所有弱電橋架、機柜、金屬面板統(tǒng)一等電位接地，接地電阻≤1Ω;線纜、配件低靜電釋放，避免擊穿晶圓

　　2、EMI電磁防護：光刻區(qū)域嚴格控制弱電設備電磁輻射;強弱電橋架分開，間距≥300mm;干擾區(qū)域用屏蔽線纜 +屏蔽橋架

　　3、潔凈施工規(guī)范：FAB內(nèi)弱電施工必須無塵作業(yè);橋架、線纜不產(chǎn)塵，接縫密封;開孔做防塵封堵，吊頂內(nèi)管線提前預埋，封板后盡量不開孔

　　4、高可用冗余：核心交換機、服務器、光纖鏈路雙機/雙路由;UPS保障弱電設備斷電持續(xù)運行，防止產(chǎn)線數(shù)據(jù)丟失

　　5、合規(guī)與追溯：全系統(tǒng)日志長期留存，滿足半導體行業(yè)審計、客戶審核需求

三、常見項目階段要點

　　1、方案階段：BIM管線綜合，提前排查橋架、風管、工藝管道碰撞(FAB管線極密集)

　　2、施工階段：潔凈區(qū)弱電必須在凈化封板前完成預埋，減少后期開孔污染;ESD接地同步驗收

　　3、調(diào)試：分網(wǎng)獨立調(diào)試，再做跨系統(tǒng)聯(lián)動(FMCS+安防+消防聯(lián)動);電磁干擾專項測試

　　4、驗收：潔凈度、ESD、接地、網(wǎng)絡隔離、報警聯(lián)動逐項驗收

四、典型應用場景

　　?晶圓制造FAB(百級/千級潔凈車間)

　　?半導體封裝測試廠房

　　?半導體配套動力站、特氣房、化學品庫房