近日,視閣國際報道了由美國政策禁止向中興通訊銷(xiāo)售一切產(chǎn)品導致了芯片危機,現國家出臺全面政策大力扶持本國的半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展,在未來(lái)的一段時(shí)間里,半導體產(chǎn)業(yè)會(huì )有可以預見(jiàn)的高速發(fā)展,而影響芯片生產(chǎn)的因素之一便有半導體生產(chǎn)車(chē)間,它是芯片生產(chǎn)最重要的一部分,那么半導體生產(chǎn)車(chē)間在生產(chǎn)芯片時(shí)有哪些要求呢?
一、半導體生產(chǎn)車(chē)間介紹
高端精細的芯片制備過(guò)程對半導體生產(chǎn)車(chē)間的生產(chǎn)環(huán)境和設備要求是極高的,這些機器設備會(huì )令硅芯片遭受超強真空處理、「化學(xué)浴」浸泡、高能等離子體加工、紫外光照射等一系列步驟,同時(shí)還要使硅芯片經(jīng)過(guò)數百個(gè)制造階段,從而將它們變成CPU、存儲器片、圖形處理器等。
二、半導體生產(chǎn)車(chē)間芯片生產(chǎn)環(huán)境要求
芯片生產(chǎn)車(chē)間無(wú)塵室屬于半導體生產(chǎn)車(chē)間的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對室內空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時(shí)還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。
1、室內的噪聲級(空態(tài)):不應大于65dB(A)
2、垂直流潔凈室滿(mǎn)布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。
3、與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa。
4、潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值:
5、補償室內排風(fēng)量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
6、保證供給無(wú)塵車(chē)間潔凈室內每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。
7、凈化空調系統加熱器,應設置新風(fēng),超溫斷電保護,若采用點(diǎn)加濕時(shí)應設置無(wú)水保護,寒冷地區,新風(fēng)系統應設置防凍保護措施。無(wú)塵室的送風(fēng)量,
三、半導體生產(chǎn)空間潔凈度要求
半導體器件生產(chǎn)環(huán)境要求很?chē)?,除了要求恒溫恒濕外,對生產(chǎn)環(huán)境潔凈度要求很?chē)?,按單位體積重規定的塵埃粒子數標準分成潔凈度的等級。一般分為:10級、100級、1000級、10000級、100000級,國際標準IOS14644-1、國標GB50073-2013、美聯(lián)邦標準中均有規定潔凈室和潔凈區內空氣以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進(jìn)行劃分的等級標準。
近些年美國對于中國進(jìn)行芯片威脅和打壓,讓中國制定了集成電路產(chǎn)業(yè)的策略,始終保持戰略定位,苐三代半導體的研制,國產(chǎn)化十新基建,引爆芯片強勁需求,展示芯片很強動(dòng)力和潛力,推出了眾多的優(yōu)惠利好的政策,更是加速了芯片行業(yè)的發(fā)展,這讓半導體生產(chǎn)車(chē)間這一芯片產(chǎn)業(yè)的基礎核心設施也得到了高度的重視和高速的發(fā)展。上海有盛凈化公司匯聚了眾多高級技術(shù)人才,形成了工作經(jīng)驗豐富的工作團隊,專(zhuān)注于半導體生產(chǎn)車(chē)間的系統工程的品質(zhì)保障。